花崗石氣浮導(dǎo)軌的制作采用了是空氣靜壓軸承技術(shù),因此它具有軸/徑向跳動小、重復(fù)定位精度高、加載驅(qū)動力小、能在極高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導(dǎo)軌具備這些性能,在選用制作材料時(shí)要求它具有以下特征:
1.導(dǎo)熱性要好,隨時(shí)間及空間改變,溫度隨之改變進(jìn)而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機(jī)器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;
2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度變化下產(chǎn)生過大的伸長縮短;
3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導(dǎo)軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;
4.要有著較高的硬度及耐磨性,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;
5.具有較高的強(qiáng)度,在一定的力量范圍內(nèi)不易斷裂;
6.對于運(yùn)動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機(jī)的高速、高加速運(yùn)動而產(chǎn)生的測量機(jī)慣性力不會造成損傷;
7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);
8.工藝性好,易于加工,成本要低.
作為超精密測量、超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域的重要應(yīng)用,花崗石氣浮導(dǎo)軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.
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